Phạm vi tiêu chuẩn
(không khí / người dùng có thể điều chỉnh)¹

LFE1400 từ 0-1000 ln/min đến 0-1400 ln/min
LFE1000 từ 0-700 ln/min đến 0-1000 ln/min
LFE700 từ 0-500 ln/min đến 0-700 ln/min
LFE500 từ 0-350 ln/min đến 0-500 ln/min

Air

0-1400 ln/min

✓

✓

✓

N2

0-1400 ln/min

✓

✓

✓

Ar

0-1240 ln/min

✓

✓

✓

He

0-1400 ln/min

✓

✓

CO2

0-740 In/min

✓

✓

CO

0-1390 In/min

✓

✓

H2

0-2900 In/min

✓

Hồ sơ do khách hàng xác định

Tối đa 15 cấu hình mà người dùng có thể lập trình là các cấu hình đặt trước trong đó khách hàng có thể đặt khí, phạm vi, động lực, bộ tổng, đơn vị kỹ thuật và điều kiện tham chiếu cho tối đa 15 ứng dụng khác nhau

Độ chính xác

A1 Core: ± 0.5% toàn thang đo của người dùng ± 1% giá trị đo được.
B1 Prime : ± 0.3% toàn thang đo của người dùng ± 0.7% giá trị đo được.
B2 Prime độ chính xác cao: ± 0.3% toàn thang đo của người dùng ± 0.5% giá trị đo được.
Sắp có (ứng dụng Hydrogen):
B3 Prime H2: ± 0.3 toàn thang đo của người dùng ± 0.7% giá trị đo được.
B4 Prime H2 độ chính xác cao: ± 0.3% of user full scale ± 0.5% giá trị đo được.
Thang đo đầy đủ của người dùng = ~70…100% phạm vi tiêu chuẩn.

Phương tiện

Tất cả các loại khí và hỗn hợp khí tương thích với các vật liệu đã chọn và dữ liệu có sẵn trong cơ sở dữ liệu giới thiệu NIST.
Liên hệ với nhà máy để biết thêm thông tin.

Dải động lực học

Động lực học cố định: 1 : 100 đối với hầu hết các loại khí* Động lực học VADy®: lên đến 1 : 1000 (chỉ có sẵn cho đồng hồ đo) VADy® hoặc dải động học cố định có thể được chọn trong quá trình đặt hàng.
Bạn có thể thay đổi cài đặt này bất cứ lúc nào bằng ứng dụng Vögtlin Connect.
*Dải động lực học phụ thuộc vào khí và áp suất, áp suất cao hơn có nghĩa là dải động lực học thấp hơn.

Thời gian đáp ứng

Đồng hồ đo: 120 msec / Bộ điều khiển: 2000 msec (theo tiêu chuẩn SEMI SEMI E17-1011)*
Cập nhật giá trị lưu lượng khối thời gian: 10 msec / Tốc độ lấy mẫu cảm biến: 1 msec
*Với cài đặt bộ lọc được tối ưu hóa. Tất cả các chế độ và giá trị bộ lọc có thể được đặt thông qua ứng dụng Vögtlin Connect hoặc giao diện truyền thông kỹ thuật số.

Độ trùng lặp

± 0.2% toàn bộ quy mô nhà máy (theo tiêu chuẩn SEMI E56-0309)

Sự ổn định lâu dài

Thông thường < 0.2% giá trị đo được / năm sau bao bì

Nguồn cấp

Đồng hồ đo: 15-36 Vdc, (200 mA@24Vdc, quy định) / Bộ điều khiển: 24 Vdc ±10%, (2000mA@24Vdc, quy định)
Cấp nguồn thông qua kết nối M8-4P hoặc tùy chọn thông qua kết nối D-sub
(gợn sóng không được vượt quá 100 mV từ đỉnh đến đỉnh) Chúng tối khuyên bạn nên kết nối thân thiết này với mặt đất đúng cách

Áp suất vận hành

1  đến 14 bar a

Nhiệt độ (môi trường/khí)

-20 đến +60 °C (-4 to 140 °F)

Khí ẩm

0-95% Rh (không ngưng tụ)

Độ nhạy áp suất

Cảm biến Prime và Prime H2: <0.05% quy mô toàn nhà máy trên mỗi bar (không khí thông thường).
Cảm biến Core: <0.08% toàn thang đo của nhà máy + 0.1% giá trị đo được trên mỗi bar (không khí thông thường).

Độ nhạy nhiệt độ

<0.02% FFS* trên 1 °C của nhiệt độ khí đầu vào @ 7 bar một áp suất
*Quy mô toàn nhà máy (phạm ci lưu lượng tối đa của thiết bị)

Độ chính xác của nhiệt độ

Thông thường ± 0.5 °C (không có chứng nhận)

Độ chính xác của áp suất tuyệt đối

<0.5% MV (không có chứng nhận)

Thời gian khởi động

<2 sec để có độ chính xác hoàn toàn

Các bộ phận tiếp xúc

Chất đàn hồi: hiện có sẵn: FKM, EPDM (Chỉ dành cho đồng hồ đo). EPDM (Bộ điều khiển, ra mắt vào năm 2023),
Ghế van FFKM (sắp ra mắt vào năm 2023). Phiên bản FFKM đầy đủ (theo yêu cầu).
Thân thiết bị: Thép không gỉ 316L (1.4404).
Van (bộ điều khiển): 316 (1.4401), 416 (1.4005), 430F (1.4104).
Bộ lọc đầu vào: Thép không gỉ 316 (1.4401), thép không gỉ buộc chặt (1.4122) hoặc tương đương.
Cảm biến A1 Core: Thép không gỉ 316Ti (1.4571), silicon, vàng, thủy tinh, bọc silicon, PBT.
30GF, gốm sứ. Cảm biến B1 Prime: Thép không gỉ 316L (1.4404).
Cảm biến B2 Prime H2: Thép không gỉ 316L (1.4404) phủ vàng.

Vỏ điện tử

Thép không gỉ sơn tĩnh điện

Bộ lọc đầu vào tích hợp

Bộ lọc 50 Micron SS316 (1.4401) / khách hàng không thể thay thế / vật liệu dây buộc SS (1.4122)

Độ nhám bề mặt phần tiếp xúc với dung dịch

1.6 Ra µm hoặc cao hơn (liên hệ với nhà máy để có giá trị Ra thấp hơn)

Tín hiệu đầu ra Analog

Tuyến tính 4–20 mA hoặc do khách hàng xác định (tối đa 20 mA) do người dùng lựa chọn
Tuyến tính 0–5 VDC hoặc 0-10 VDC hoặc do khách hàng xác định (tối đa 10 Volt) do người dùng lựa chọn
Đầu ra mA: Điện trở tải tối đa 740 ohms
Đầu ra Volt: Điện trở tải tối thiểu 1000 ohms
Tất cả các đầu ra Analog đều được phân tách và bảo vệ bằng điện. Nếu được sử dụng với tín hiệu tương tự, hãy thêm 0.2% FFS vào độ không đảm bảo

Tín hiệu điểm cài đặt Analog

Tuyến tính 4–20 mA hoặc do khách hàng xác định (tối đa 20 mA) do người dùng lựa chọn
Tuyến tính 0–5 VDC hoặc 0-10 VDC hoặc do khách hàng xác định (tối đa 10 Volt) do người dùng lựa chọn

Tín hiệu đầu ra Digital

RS-485 (Modbus RTU 2 dây)
Địa chỉ Modbus có thể thiết lập bằng 2 công tắc xoay ở bên ngoài vỏ.
Tất cả cài đặt Modbus có thể được đặt thông qua ứng dụng Vögtlin Connect.

Tùy chọn Profinet or EtherCAT

Cổng kép RJ45 có công tắc tích hợp (dễ nối chuỗi)
Đèn LED RJ45 cho biết liên kết và hoạt động trên mạng / tốc độ Ethernet: tối đa 100 Mbit
ProfiNet: Thông số kỹ thuật PROFINET IO v2.33 / Sự phù hợp của thiết bị PROFINET IO loại B (RT) / Độ bền: phù hợp với Siemens S7 (lớn)
EtherCAT: Tiêu chuẩn IEC IEC61158 / Độ bền: little
Ethernet IP sẽ có sẵn vào cuối năm 2023.

Giao diện cấu hình

Ứng dụng Vögtlin Connect không dây có sẵn từ cửa hàng Google Play

Mosfet I/O đầu ra

On/tắt van ngắt bên ngoài hoặc báo động có sẵn thông qua đầu nối M8-4P
Loại liên hệ: bóng bán dẫn mosfet
Điện áp tối đa: 36 Vdc, Dòng điện tối đa 500 mA (Được bảo vệ bằng cầu chì)

Kết nối điện

9 chân D-sub male (nguồn và tín hiệu) đầu nối M8-4P (Đầu ra bộ thu mở + nguồn)
Tùy chọn 2 x RJ45 (EtherCAT / Profinet)

Quy trình kết nối

1″ BSPP female (1″G)
Tùy chọn ½” BSPP, 1″ Compression hoặc Tri-clamp 50.5mm kích thước mặt bích (ISO) (xem tab phụ kiện)

Đầu vào

Không cần thiết nếu lắp đặt bộ lọc / điều hòa đầu vào theo tiêu chuẩn của chúng tôi
Nếu không có bộ lọc / điều hòa, nên sử dụng đầu vào thẳng 10 D
Bộ lọc đầu vào có thể được bỏ chọn tại thời điểm đặt hàng

Giảm áp suất

Đồng hồ đo: Tiêu chuẩn 400 mbar tại nhà máy thông gió toàn bộ quy mô vào không khí (có bộ lọc / điều hòa)
Tùy chọn: 325 mbar tại nhà máy thông gió toàn bộ quy mô vào không khí (không có bộ lọc / điều hòa)
Giảm áp suất phụ thuộc vào áp suất vận hành (áp suất cao hơn = giảm áp suất thấp hơn)
Để biết thêm thông tin, vui lòng tham khảo đối tác bán hàng của bạn
Bộ điều khiển: Tối thiểu. chênh lệch áp suất cần thiết cho 1400 ln/min (không khí) < 2 bar
Liên hệ với đối tác bán hàng của bạn để biết các yêu cầu giảm áp suất khác

Hướng lắp đặt

Áp dụng cho tất cả các hướng

Khối lượng

Đồng hồ đo: 3.7 kg / Bộ điều khiển: 8.7 kg (không bao gồm Ethernet và phụ kiện)

Áp suất thử sau sản xuất

28 bar a

Cảm biến quá áp tối đa

Cảm biến Core: 28 bar a, Cảm biến Prime and Prime H2: 90 bar a

Áp suất nổ

Đồng hồ đo: 100 bar a / Bộ điều khiển: 70 bar a

Tỉ lệ rò rỉ

< 1 x 10-6 mbar l/s He

Bảo vệ

IP54 nếu sử dụng IP54-D-sub (xem tab phụ kiện)
Đối với EtherCAT/Profinet tùy chọn: IP40

EMC

IEC/EN 61326-1, IEC/EN 61000-6-2/4

Giấy chứng nhận ATEX

Không có

Giấy chứng nhận vật liệu

Sẽ được phát hành vào năm 2023 (chỉ có sẵn cho đồng hồ đo)

Tuân thủ FDA

Sẽ được phát hành vào năm 2023 (chỉ có sẵn cho đồng hồ đo)

PED

Tuân thủ đầy đủ. Vì thiết bị có kết nối quy trình 1″, nên tuân thủ SEP như được định nghĩa trong Điều 4, đoạn 3 Của Chỉ thị Thiết bị Áp lực (PED) (2014/68/EU)

RoHS / REACH

Tất cả các thành phần đều tuân thủ Chỉ thị 2002/95/EC (RoHS) và nguyên tắc REACH

Bảo hành

3 năm, trừ khi sử dụng một số loại khí ăn mòn / nguy hiểm (HCL, CL2, F2, H2S, SO2)