Không khí/Có thể tự do lựa chọn nhiều tỉ lệ

Kích thước ¼” từ 0 … 25 mln/min đến 0 … 60 ln/min (từ 0 … 27 SCCM đến 0 … 64 SLPM)
Kích thước ½” từ 0 … 60 ln/min đến 0 … 450 ln/min (từ 0 … 65 SLPM đến 0 … 480 SLPM)

“Tiêu chuẩn”
Giải pháp kinh tế

Độ chính xác: ± 1.0% toàn thang đo*
Tỉ lệ đầu ra: 1 : 50

“Hiệu suất cao”
Với tỉ lệ đầu ra và độ chính xác cao
(có sẵn cho GIM < 200 ln/min (200 SLPM) /
GIC < 150 ln/min (150 SLPM) (không khí))

Độ chính xác: ± 0.3% toàn thang đo + ± 0.5% giá trị đọc*
Tỉ lệ đầu ra: 1 : 100
*Có thể áp dụng sai số bổ sung ±0.25% cho tín hiệu Analog

Phương tiện (hiệu chuẩn khí thực)

Air, O2*, N2*, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8 (các loại khí và hỗn hợp khí khác theo yêu cầu)
*O2 & N2 được hiệu chuẩn với không khí

Thời gian đáp ứng

Đồng hồ đo (GIM): ± 80ms*; Bộ điều khiển (GIC): ± 500ms*
*tùy thuộc vào cấu hình thiết bị & theo tiêu chuẩn SEMI standard E17-1011,
5-100% phạm vi trong điều kiện tối ưu hóa

Độ trùng lặp

± 0.2% toàn thang đo (theo tiêu chuẩn SEMI E56-0309)

Sự ổn định lâu dài

< 1% giá trị đo được / năm

Nguồn cấp

24 Vdc (18 – 30 Vdc), 15 Vdc on request

Tiêu chuẩn
Dòng điện tiêu thụ

Đồng hồ đo (GIM): tối đa. 100 mA; Bộ điều khiển (GIC): tối đa. 250 mA
(GIC với loại van 8 max. 490mA)

Dòng điện tiêu thụ
Profinet RT / EtherCAT

Đồng hồ đo (GIM): tối đa. 125 mA; Bộ điều khiển (GIC): tối đa. 340 mA
(GIC với loại van 8 max. 560mA)

Áp suất vận hành

0.2 – 11 bara (3 – 160 psia) / GIC với loại van 4.5 and 8: tối đa. 8 bara (120 psia)

Nhiệt độ (môi trường/khí)

0 – 50°C (32 – 122°F)

Độ nhạy áp suất

<0.2% / bar (<0.014% / psi) giá trị đọc (N2 thông thường)

Độ nhạy nhiệt độ

Loại pham vi đo <0.025% FS trên 1°C (<0.012% trên 1°F)

Thời gian khởi động

< 1 sec. để có độ chính xác hoàn toàn

Vật liệu thân thiết bị

Thép không gỉ 316L (xem hướng dẫn vận hành cho các bộ phận tiếp xúc với dung dịch)

Vỏ điện tử

Nhôm

Seals

EPDM (FDA), FKM tùy chọn and FFKM

Tín hiệu đầu ra Analog

0-20 mA, 4-20 mA, 0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 2-10 V

Tín hiệu đầu ra Digital

RS-485; Modbus RTU (Slave); LabView-VIs có sẵn / tùy chọn: Profibus DP-V0, DP-V1

Quy trình kết nối

G¼” (BSPP* female) lên đến 60 ln/min (64 SLPM)
G½” (BSPP* female) lên đến 450 ln/min (480 SLPM)
*Ống song song tiêu chuẩn Anh

Đầu vào

Không yêu cầu

Kết nối điện

Tuyến cáp có khớp nối nén / Tùy chọn: phích cắm M12 (tiêu chuẩn DIN)
(cả hai kết nối có độ bảo vệ IP67)

Hướng lắp đặt

Có thể lắp đặt tất cả các hướng. Chúng tôi khuyến cáo nên lắp đặt ngang.
Vui lòng liên hệ với nhà sản xuất để biết thêm thông tin.

Áp suất thử

16 bara (240 psia)

Tỉ lệ rò rỉ

< 1 x 10-6 mbar l/s He

Bảo vệ

IP67 (phù hợp với NEMA 6)

EMC

EN 61326-1

Giấy chứng nhận ATEX

II 3G nA IIC T4 Gc (Loại 3 / Vùng 2)
II 3D Ex tc IIIC T100°C Dc (Loại 3 / Vùng 22)