Điều khiển áp suất

Áp suất tuyệt đối, chênh lệch hoặc áp kế
Phạm vi đo tiêu chuẩn từ 30 mbar đến 10 bar (được phân loại)
Tỉ lệ đầu ra: 1 : 100

Điều khiển áp suất ngược

Áp suất tuyệt đối, chênh lệch hoặc áp kế
Phạm vi đo tiêu chuẩn từ 30 mbar đến 10 bar (được phân loại)
Phạm vi động lực học tùy thuộc vào ứng dụng

Không khí/Có thể tự do lựa chọn nhiều tỉ lệ

Kích thước ¼” từ 0 … 25 mln/min đến 0 … 60 ln/min
Kích thước ½” từ 0 … 60 ln/min đến 0 … 450 ln/min

“Tiêu chuẩn”

Độ chính xác: ± 1.0% toàn thang đo*
Tỉ lệ đầu ra: 1 : 50

“Hiệu suất cao”
(lên đến 150 ln/min)

Độ chính xác: ± 0.3% toàn thang đo + ± 0.5% giá trị đọc*
Tỉ lệ đầu ra: 1 : 100

Bộ điều khiển áp suất với bộ phát bên ngoài, phạm vi đo đặc biệt (ví dụ: 0-20 Pa) & các giải pháp dành riêng cho khách hàng theo yêu cầu

Phương tiện (hiệu chuẩn khí thực)

Air*, O2*, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8 (các loại khí và hỗn hợp khí khác theo yêu cầu)
*O2 & N2 được hiệu chuẩn với không khí

Thời gian đáp ứng Đo lường lưu lượng

± 80ms
Tùy thuộc vào cấu hình thiết bị & theo tiêu chuẩn SEMI E17-1011, phạm vi 5-100% trong điều kiện tối ưu hóa

Thời gian đáp ứng Đo lường áp suất

150ms

Thời gian đáp ứng Kiểm soát áp suất

Depending on the measuring section

Độ trung lặp

± 0.2% toàn thang đo (theo tiêu chuẩn SEMI E56-0309)

Sự ổn định lâu dài

< 1% giá trị đo được / năm

Nguồn cấp

24 Vdc (18 – 30 Vdc), 15 Vdc theo yêu cầu

Dòng điện tiêu thụ tiêu chuẩn

Đồng hồ đo: tối đa. 100 mA; Bộ điều khiển: tối đa. 250 mA
(với loại van 8 tối đa. 490mA)

Dòng điện tiêu thụ
Profinet RT / EtherCAT

Đồng hồ đo: tối đa. 125 mA; Bộ điều khiển: tối đa. 340 mA
(với loại van 8 tối đa. 560mA)

Nhiệt độ (môi trường/khí)

0 – 50°C

Vật liệu thiết bị

Nhôm Anodized, tùy chọn thép không gỉ được đánh bóng bằng điện 1.4305 or 1.4404

Seals

FKM, EPDM, FFKM tùy chọn

Áp suất

Hút chân không lên đến 10 bar g

Độ nhạy áp suất

<0.2% / bar giá trị đọc (N2 thông thường)

Độ nhạy nhiệt độ

Loại phạm vi đo 0.025% FS / °C

Thời gian khởi động

<1 sec. để có độ chính xác hoàn toàn

Tín hiệu đầu ra Digital

RS-485; Modbus RTU (Slave); Lab View-VIs có sẵn
Tùy chọn: ProfiBus DP-V0, DP-V1 / Profinet RT / EtherCAT

Tín hiệu đầu ra Analog

0..20 mA, 4..20 mA, 0..5 V, 1..5 V, 0..10 V, 2..10 V

Điểm cài đặt Analog

Có thể thực hiện được với bộ chuyển đổi AD (theo yêu cầu)

Quy trình kết nối

G¼” (BSPP* female) lên đến 60 ln/min,
G½” (BSPP* female) lên đến 450 ln/min
*Ống song song tiêu chuẩn Anh

Đầu vào

Không yêu cầu

Kết nối điện

Phích cắm Sub D, 9 cực

Hướng lắp đặt

Bất kỳ vị trí (tham khảo nhà sản xuất trên 5 bar hoặc lắp dọc)

Áp suất thử

16 bara

Tỉ lệ rò rỉ

< 1 x 10-6 mbar l/s He

Bảo vệ

IP50 hoặc IP67

EMC

EN 61326-1